化学气相沉积法是采用一定的方法把含有C源的气体激活，卧式铣床在极低的气体压强下，立式铣床使碳原子在一定区域沉积下来，卧式铣床的碳原子在凝聚、立式铣床沉积过程中形成金刚石相。目前卧式铣床用于沉积金刚石的CVD法主要包括：微波、热灯丝、立式铣床的直流电弧喷射法等。